11月4日,西北地区首条8英寸硅光中试线正式通线。
该平台由陕西光电子先导院建设,此次通线不仅填补了区域硅光芯片中试领域空白,更成为陕西“追光计划”实施以来的标志性成果,将作为陕西打造千亿级光子产业集群的核心支点,撬动当地光子产业发展从蓝图迈向实践。
据了解,此次8英寸硅光平台通线,将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动,为“追光计划”培育千亿级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。
光电子先导院的8英寸硅光平台总投资7.5亿元,引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”,并引入光刻、刻蚀等60余台(套)关键核心设备,在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,能够开发90nm以上先进工艺。
“8 英寸硅光平台的通线,彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板”。陕西光电子先导院总经理杨军红表示,作为陕西“追光计划”的核心支撑平台,光电子先导院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台。