据《台湾工商时报》披露消息，台积电坐落于台中中部科学园区二期扩建片区、总投资额达490亿美元的1.4纳米（A14制程，厂区代号Fab25）晶圆制造工厂，现阶段整体施工进度已经优于原先的项目规划。
该先进制程厂区在2025年11月正式动工，园区规划修建四座无尘厂房以及配套办公、动力设施。目前项目桩基工程已经完工，前两座厂房施工发包完毕，承建单位已经开启钢结构搭建作业；中科园区主管部门实地视察之后评价，厂区基建以及园区配套公共工程推进速度超出预期。
按照项目最新的时间规划，首座无尘厂房预计在2027年4月竣工，并完成首批硅片试流片工作。后续无尘室设备进场、机台调试一切顺利的前提下，厂区可于2027年第三季度开启首轮工艺试产。待到1.4纳米制程良率、工艺稳定性通过产线验证之后，工厂计划在2028年年中转入大规模量产阶段。
供应链相关资料显示，A14也就是1.4‑nm级工艺采用第二代GAA环绕栅极晶体管架构。对比当下已经投产的2nm制程，全新工艺能够实现晶体管密度上涨两成以上，同等工作速率之下芯片功耗下降25%‑30%，专门面向高端AI算力芯片、旗舰手机处理器进行优化适配。
