据报道,全球光刻机龙头阿斯麦(ASML)的一位高管最新表示,其下一代芯片制造设备已准备就绪,可以供应芯片制造商用于大规模量产,这对芯片行业来说是一个重大进展。
这家荷兰公司生产着全球唯一的商用极紫外光刻(EUV)设备,这是芯片制造商不可或缺的关键部件。阿斯麦的数据显示,这款新设备将帮助台积电和英特尔等芯片制造商生产出更强大、更高效的芯片,因为它省去了芯片制造过程中的一些昂贵且复杂的步骤。
不过需要注意的是,新工具造价约为4亿美元,是原EUV机器造价的两倍。
阿斯麦首席技术官Marco Pieters称,阿斯麦的数据显示,高数值孔径EUV的停机时间目前已大幅缩短,已生产了50万片餐盘大小的硅晶圆,并且能够绘制出构成芯片电路的足够精确的图案。综合这三项数据,表明这些设备已准备好投入制造商使用。