材料 /设备
荷兰半导体设备巨头ASML近日宣布在极紫外光（EUV）技术上取得重大进展，计划将光源功率从600W提升至1000W。这一升级预计将使晶圆产能提升约50%，而无...
IC设计
欧盟委员会2月9日宣布，欧盟在比利时微电子研究中心（IMEC）启动了规模最大的芯片法案试点生产线NanoIC。 该设施总投资达25亿欧元，其中欧盟拨款7...
材料 /设备
据《科创板日报》12日报道，荷兰芯片设备制造商阿斯麦（ASML）韩国华城园区竣工。阿斯麦华城园区总面积1.6万平方米，设有深紫外（DUV）光刻、极紫外（...
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