1月22日,证监会官网披露,江苏邳州半导体设备企业鲁汶仪器在江苏证监局办理上市辅导备案登记。
官网显示,鲁汶仪器致力于为集成电路制造产业提供先进的装备和工艺解决方案,针对逻辑、存储、功率器件、光学、微显示等领域的关键工艺道次,研发了业界领先的离子束塑形设备(IBS)、离子束沉积设备(IBD)等,也提供电感耦合等离子体刻蚀设备(ICP)、薄膜沉积设备(CVD),以及气相分解金属沾污收集设备(VPD)等晶圆工艺制造设备与检测设备。
截至 2022 年已完成 9 轮融资,最新一轮为 2022 年的 E + 轮融资,股东包含 Leuven Instruments(持股 19.82%,控股股东)。此外,中国科学院微电子研究院也是鲁汶仪器的股东之一,持股2.98%。
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