工商信息显示，近日，上海威耀实业有限公司（下称：“威耀实业”）发生工商变更，上海微电子装备（集团）股份有限公司（下称：“上海微电子”）退出股东，新增上海芯上微装科技股份有限公司（下称：“芯上微装”）为全资股东，认缴出资额2.285亿元。
本次收购方芯上微装成立于2025年2月，是从上海微电子分拆后单独成立的公司。其主要股东与上海微电子相似度高，且核心人员及技术资产来自上海微电子，业务定位能够快速实现市场化的设备，而上海微电子则将专注前道核心设备开发。
据了解，芯上微装产品覆盖多类封装和检测设备。据其介绍，2025年8月，该公司已交付500台步进光刻机。2025湾芯展上，芯上微装还展示了其进封装光刻机、激光退火设备、光学量测设备、光学检测设备等产品。
2025年11月，芯上微装自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）完成出厂调试与验收，并发往客户现场。据其介绍，AST6200光刻机为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景定制。
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