路维光电11月3日在互动平台称，目前公司已实现180nm制程节点半导体掩膜版量产，150nm/130nm已通过客户验证并小批量量产。公司投资建设的路芯半导体项目定位130-28nm掩膜版制作，制程节点布局居于国内厂商前列，目前90nm及以上半导体掩膜版已向客户陆续送样并获部分客户验证通过，2025年下半年启动40nm半导体掩膜版试生产工作，目前项目进展顺利。
资料显示，路维光电是一家专注于光刻掩膜版领域的企业，成立于2012年，其拥有平板显示掩膜版和半导体掩膜版两大核心产品线，是国内唯一具备 G2.5-G11 全世代掩膜版生产能力的厂商。2025 年三季度，路维光电实现营业收入 8.27 亿元，其中，石英掩膜版营收 4.99 亿元，占比 91.80%；苏打掩膜版 4130.49 万元，占比 7.59%。
